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ÁÖ¹®Ç°À¸·Î ¹ßÁÖÈÄ ÃÖ¼Ò2ÀÏ¿¡¼ ÃÖ´ë7ÀÏÈÄ ¹ß¼ÛµË´Ï´Ù.
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Ȳ»ö¿ø·á¸¦ °ü ³»¸é¿¡ µµÆ÷ÇÏ¿© °ïÃæÀÌ ¸ðÀ̱⠽¬¿î 450nmÀÌÇÏÀÇ ÆÄÀåÀ» Â÷´ÜÇÔÀ¸·Î½á ¹æÃæÈ¿°ú¸¦ Á¦°øÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ¹ÝµµÃ¼ ¹Ì¼â Àμâ°øÁ¤(Microlithography)¿¡ »ç¿ëµÇ´Â È¥ÇÕ¹°ÀÎ PR(Photho-Resist Chemistry:ºûÀ̳ª ¿µî ¿¡³ÊÁö¿¡ ³ëÃâµÇ¾úÀ»¶§ ³»ºÎ ±¸Á¶°¡ ¹Ù²î´Â Ư¼ºÀ» °®´Â È¥ÇÕ¹°)ÀÌ ºû¿¡ ÀÇÇÑ °íºÐÀÚÈ ¹× ±¤ºÐÇØ°¡ ÀϾ´Â 450nm ÀÌÇÏÀÇ ÆÄÀåÀ» Â÷´ÜÇÏ°í Ȳ»ö ¹ß»ý´ë¿ªÀÇ ºûÀ» ¹æ»çÇϵµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
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¹ø°³Ç¥ Äɹ̷轺(¹æÃæ¿ë,¹ÝµµÃ¼¿ë) |
¸ðµ¨¸í |
FHF32SSY¡¤NU |
Çü½Ä |
FHF32 |
¿ÍÆ®(Watt) |
32W |
º¼Æ®(Volt) |
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¼ÒÄÏ(Socket) |
G13 |
¹úºê°ü°æ(mm) |
26 |
¿Ü°æ/ÀüÀå(mm) |
26 / 1198 |
±¤¿ø(K) |
³ë¶û»ö |
Àü±¤¼Ó(lm) |
2250 |
¿¬»öÁö¼ö |
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¼ö¸í(½Ã°£) |
10000 |
Á¦Á¶»ç |
±ÝÈ£Àü±â |
¿ø»êÁö |
´ëÇѹα¹ |
1Box ¼ö·®(°³) |
20 |
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32WÀÏ°æ¿ì ½ºÅ¸Åͳª ÀüÀڽĿ¡ »ó°ü¾øÀÌ ¸ðµÎ »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇÕ´Ï´Ù.
ÁÖ·Î °øÀåÂÊ¿¡¼ ¸¹ÀÌ Ã£½À´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù. |
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ÅÃ¹è ¹è¼Û
¿ÀÈÄ 15½Ã30ºÐ(Åä¿äÀÏ ¿ÀÀü12½Ã)±îÁö ÀÔ±ÝÈ®ÀÎµÈ ÁÖ¹®°Ç¿¡ ´ëÇؼ 48½Ã°£ À̳»¿¡ ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.
µµ¼/»ê°£Áö¿ªÀº 2¡3ÀÏ Á¤µµ Ãß°¡ ¼Ò¿äµË´Ï´Ù.
¹è¼ÛÁö¿ª : Àü±¹
¹è¼Ûºñ : 3,000¿ø (5¸¸¿øÀÌ»ó ±¸¸Å½Ã ¹«·á/µµ¼Áö¿ª Ãß°¡¿îÀÓ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖÀ½)
±¸¸ÅÇϽô ¹°Ç°ÀÌ 50¸¸¿ø ~ 300¸¸¿ø ÀÌÇÏ ¿î¼Û¹°ÀÇ °æ¿ì º°µµÀÇ ÇÒÁõ¿îÀÓÀ» ¹ÞÀ»¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. (ÆļÕ, ÈѼÕ, ºÐ½Ç·Î ÀÎÇÑ ÅùèÇ¥Áؾà°ü ¸í½Ã ±Ý¾×ÀÓ)
ÀÚ¼¼Çѳ»¿ëÀº °øÁ¤°Å·¡À§¿øȸ ÅùèÇ¥Áؾà°ü¿¡ ÀÇ°ÅÇÏ¿© ¹°Ç°°¡¾×¿¡ °ü·ÃµÈ »çÇ×À» ÂüÁ¶
ÇÏ¿© Áֽʽÿä. (Åùè Ç¥Áؾà°ü ¹Ù·Î°¡±â)
´çÀÏÅÃ¹è ¹è¼Û
¿ÀÀü11½Ã±îÁö(Åä¿äÀÏ,°øÈÞÀÏÁ¦¿Ü) ÀÔ±ÝÈ®ÀÎµÈ ÁÖ¹®°Ç¿¡ ´ëÇØ ¹ã 10½Ã À̳» ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
¹è¼ÛÁö¿ª : ¼¿ï
¹è¼Ûºñ : 4,000¿ø (±¸¸Å±Ý¾×°ú »ó°ü¾øÀÌ ÀÏ°ýÀû¿ë)
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¼¿ïÁö¿ª ÈÄºÒ ¹è¼Û
¹è¼Û¼±Åùæ¹ý¿¡ ÁØÇÏ´Â ±âÁØÀ¸·Î ¼¿ïÁö¿ª ±â¾÷ȸ¿ø¿¡ ÇÑÇÏ¿© ÈĺÒÁ¦ ¹è¼ÛÀ» ½Ç½ÃÇÕ´Ï´Ù.
¹è¼ÛÀÚ°Ý : Àü±¸¼¥ ±â¾÷ȸ¿ø (ȸ¿ø°¡ÀÔ¹«·á)
¹è¼Ûºñ : Åùè,´çÀÏÅùè,Äü¼ºñ½º¿¡ ÁØÇÏ´Â ¹è¼Ûºñ Âü°í
¹è¼ÛÁö¿ª : ¼¿ï
¹è¼Û¹æ¹ý : Àü±¸¼¥ Á÷¿ø Á÷¹è¼Û
°áÁ¦¹æ¹ý : Á¦Ç°¼ö·É Áï½Ã ÇöÀå¿¡¼ Çö±Ý(¿Â¶óÀμ۱Ý) ¶Ç´Â ½Å¿ëÄ«µå °áÁ¦°¡´É
(ÇöÀå¿¡¼ ¼¼±Ý°è»ê¼, Çö±Ý¿µ¼öÁõ, ¿µ¼öÁõ ¹ß±Þ°¡´É)
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Äü(¿ÀÅä¹ÙÀÌ) ¹è¼Û
¿ÀÈÄ 6½Ã(Åä¿äÀÏ ¿ÀÀü 12½Ã)±îÁö ÀÔ±ÝÈ®ÀÎµÈ ÁÖ¹®°Ç¿¡ ´ëÇؼ 3½Ã°£ À̳» ¹è¼ÛµË´Ï´Ù.
¹è¼ÛÁö¿ª : ¼¿ï
¹è¼Ûºñ : 6,000¿øºÎÅÍ °Å¸®¸¶´Ù Â÷µîÀû¿ë(ÂøºÒ) / ±¸¸Å´ë±ÝÈĺҰ¡´É
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ȹ° ¹è¼Û
¿ÀÈÄ 1½Ã(Åä¿äÀÏÀº ¿ÀÀü12½Ã)±îÁö ÀÔ±ÝÈ®ÀÎµÈ ÁÖ¹®°Ç¿¡ ´ëÇؼ 48½Ã°£ À̳» Çش翵¾÷¼Ò¿¡
µµÂøÇÕ´Ï´Ù.
°øÈÞÀÏÀº ¹è¼Û±â°£¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.
°í°´´Ô²²¼ Çش翵¾÷¼Ò¿¡ Á÷Á¢ ¹æ¹®ÇÏ¿© ¼ö·ÉÇϽô ¹è¼Û¹æ¹ý ÀÔ´Ï´Ù.
¹è¼ÛÁö¿ª : Àü±¹
¹è¼Ûºñ : ºÎÇÇ¿¡ µû¶ó ¹Ú½º´ç 2,000¿ø ~ 4,000¿ø(ȹ° º¸°ü·á º°µµ) , ȹ°Àº ÂøºÒ¹ß¼ÛµÊ.
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